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产品特点:本产品为不锈钢腔体式微波等离子体设备,功率密度高;水冷式基片台和水冷式金属反映腔,保证系统能长时间稳定工作;基片温度以微波等离子体自加热方式达到;真空测量仪表采用全量程真空计,可**测量本底真空和工作气体压强;真空泵及阀门采用涡轮分子泵极限真空为×和旋片式机械真空泵极限真空为,系统可自动控制沉积气压;配备冷却水循环系统,确保装置高功率下可长时间**稳定运行;系统带寸触摸屏,自动控制,可设置温度或气压恒定,可保存复用多达套工艺文件;全自动工艺控制模块,可以稳定可靠地制备高品质钻石薄膜和晶体技术指标与特性:
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四肢粗壮,蹄质坚实。
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