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设备所有与产品接触的部件均用316不锈钢制造，板片垫圈和密封件采用食品级氟橡胶制成，产品管线连接采用DIN卫生管接件。
干式刻蚀机是将承载有晶圆的托盘放置在腔体内的静电卡盘上，托盘表面反应区温度对稳定工艺至关重要，其直接影响蚀刻速率和选择比，同时蚀刻工艺过程中晶圆托盘在升降装置的驱动下存在位置度偏差，测温装置有效的与托盘接触来获得准确的工艺温度对稳定工艺也至关重要。
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注：V锥流量计需选配：差压变送器、三阀组、针型阀、冷凝罐、冷凝圈、压力变送器、温度变送器、智能计算仪.产品信息归红器自控（江苏）有限公司所有
随着科技的进步，对材料的要求越来越高。
在导管内的不同高度安装有干簧管，当磁浮球随液位变化而上下浮动时，浮球内的磁钢使相应位置上下簧管的触电吸合或断开，发出开关信号，并且具有自保持功能，因而不怕停电，复电后，触点的工作状态仍能如实地反映被测试介质液位的真实情况。
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