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干式刻蚀机是将承载有晶圆的托盘放置在腔体内的静电卡盘上,托盘表面反应区温度对稳定工艺至关重要,其直接影响蚀刻速率和选择比,同时蚀刻工艺过程中晶圆托盘在升降装置的驱动下存在位置度偏差,测温装置有效的与托盘接触来获得准确的工艺温度对稳定工艺也至关重要。
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