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而说到微波等离子清洗机放电，这种清洗没有自偏压，离子浓度高，离子能量低，主要有两种方式，即表面波型和电子回旋共振型，前者一般用于商业清洗，是通过辐射微波电磁场直接将气体击穿实现放电，其中并没有离子的加速作用，其电子密度较高，但通常要求放电气压高，从而会引起等离子体局域化比较严重的情况，不利于纵深清洗和多层面的大尺度的清洗处理，此外，微波等离子清洗机也不适合对一些精密的电子元器件进行处理。
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试片厚度应不小于，不大于。
运行参数记忆功能，避免繁琐操作；断电恢复功能，在外电源突然断电又重新来电后，设备可自动按原设定程序恢复运行。
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