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系统中设有可靠的安全保护装置,高压压力控制器安装在SF6压缩机排气口,一旦排气压力超过限定值它会自动停止压缩机的工作,待压力下降后再重新启动压缩机;安全阀安装在贮存容器上一旦超压安全阀自动打开排放气体,压力下降后自动关闭。
这种结构的不足之处是,为配合拱形屋架制作较复杂,需将上弦角钢加工成弧形。
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钢结构中的防爆墙应于主体结构隔离,轻质防爆墙基本都是钢筋混凝土的。
到了90年代后期,人们在对SIMOX材料的广泛应用进行研究的同时,也发现了注氧形成的SOI材料存在一些难以克服的缺点,如硅岛、缺陷,顶部硅层和氧化层的厚度不均匀等,从而导致了人们开始着眼于注氢和硅片键合技术相结合的智能剥离技术即SMARTCUT技术的研究。
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