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将微注射成型与热键合相结合,在精密注塑机上成型带有微通道的基片和盖片,通过模具滑移实现基片和盖片的对准,而后利用注塑机的二次合模施加压力实现芯片的键合,使芯片的成型和键合工艺在同一套模具上实现,自动化程度高,芯片的制造周期短。
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