Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1 — М. А. Королев, 2020г. Скачать книгу / читать онлайн
Внимание! Здесь вы можете ознакомиться с книгой Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1 2020 года от Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
Скачать книгу »
Читать онлайн »
Описание книги:
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
Скачать книгу »
Читать онлайн »