Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра — Наталья Макушина, 2006г. Скачать книгу / читать онлайн

Внимание! Здесь вы можете ознакомиться с книгой Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра 2006 года от Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра

Скачать книгу »
Читать онлайн »

Описание книги:
Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин. Для студентов специальности «Проектирование и производство электронной аппаратуры» и «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», изучающих курс «Микроэлектроника». Ил. 17. Табл. 8.

Скачать книгу »
Читать онлайн »