Робототехнические комплексы (РТК) электрофизической обработки - Коммуникации, связь, цифровые приборы и радиоэлектроника контрольная работа

Главная

Коммуникации, связь, цифровые приборы и радиоэлектроника
Робототехнические комплексы (РТК) электрофизической обработки

Ознакомление с современным состоянием развития электрофизических методов обработки. Характеристика роботизированных установок для напыления тонкослойных покрытий на поверхность матового листового материала и для нанесения покрытий на диэлектрики.


посмотреть текст работы


скачать работу можно здесь


полная информация о работе


весь список подобных работ


Нужна помощь с учёбой? Наши эксперты готовы помочь!
Нажимая на кнопку, вы соглашаетесь с
политикой обработки персональных данных

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
Установка предназначена для тонирования листового стекла и изготовления зеркал. Отличительная особенность состоит в том, что она снабжена стационарными распылительными системами, вертикально расположенными в центре камеры, а также обеспечена возможность сканирования листов относительно неподвижных магнетронов.
Роботизированная установка "АМЕТИСТ-3"
В отличие от установки "Аметист" роботизированная система "Аметист-3" обладает двумя манипулируемыми (подвижными) планарными магнетронами. Это позволяет увеличить загрузку рабочей камеры и производительность установки. Загрузка и выгрузка листов может осуществляться с помощью робота IR 601/60 (схват имеет 18 вакуумных присосок).
Роботизированная установка комбинированной обработки "ЯШМА"
Установка для ионно-лучевой обработки и осаждения покрытий "Яшма" является наиболее совершенной из семейства магнетронных распылительных систем.
Отличительные особенности ее конструкции позволяют обеспечить следующие режимы обработки:
- осаждение покрытий из двух видов магнетронных источников: с дискового, позиционируемого с помощью роботизированной системы, или неподвижного протяженного, позволяющего проводить напыление последовательно с двух катодов;
- ионная имплантация газовых ионов;
- осаждение покрытий с ионным ассистированием;
- ионное перемешивание осажденных покрытий ядрами отдачи.
Иными словами, наличие магнетронов двух типов обеспечивает за один цикл обработки изделия последовательное нанесение трех разных покрытий (немагнитные материалы, металлы и сплавы). Использование ионного источника позволяет совместить процесс нанесения пленки с ионной имплантацией, называемый комбинированной обработкой. Таким образом, существенно повышается адгезия пленки с подложкой и, следовательно, улучшается качество покрытия обрабатываемого изделия.
Рабочая камера установки снабжена вращающимся поворотным столом.
Роботизированная установка "ИЗУМРУД"
Установка предназначена для обработки листового стекла. Отличительной особенностью является то, что она не дискретного, а непрерывного действия. Установка снабжена входным и выходным шлюзами, которые позволяют производить ее загрузку без разгерметизации рабочей камеры, благодаря этому существенно повышается производительность.
На входе и выходе из установки имеется рольганговый участок, обеспечивающий подачу стекла, которое подается и снимается роботом IR 601/60 с вакуумным схватом.
Установка предназначена для нанесения тонкопленочных покрытий из металлических материалов, а также их оксидов и нитридов методом распыления в вакууме металлических катодов плазмой аномального тлеющего разряда магнетронного типа. Принцип действия установки основан на дискретном шлюзовании кассеты с листовыми или малогабаритными изделиями и последующей обработке их в рабочей камере, постоянно находящейся под вакуумом. Рабочая камера оснащена системами предварительной очистки изделий потоком ионов и магнетронного распыления. Одновременно обрабатываются две пластины размерами 2600x1600 мм или обе стороны малогабаритных штучных изделий. Управление установкой осуществляется с унифицированного пульта, регламентирующего работу вакуумной системы и процесс напыления в полуавтоматическом режиме.
Установка и выгрузка кассеты с листовыми или малогабаритными изделиями осуществляется роботом с вакуумным многопозиционным схватом.
Роботизированная установка магнетронного напыления УМН-8
Установка УМН-8 - это двухкамерная установка непрерывного действия с шлюзовой загрузкой, двумя параллельно работающими ионно-магнетронными системами очистки-напыления, содержащими по одному ионному источнику очистки и по два магнетрона напыления. Свойства получаемых покрытий варьируются путем изменения толщины пленок, комбинации различных материалов (оксидов, нитридов металла) и подбора стехиометрии.
Установка может снабжаться робототехническим комплексом для загрузки и выгрузки деталей.
Роботизированная установка вакуумная металлизационная УВМ-20У
Эта установка предназначена для нанесения алюминиевого покрытия в вакууме на поверхность изделий из стекла. Процесс металлизации изделий происходит в вакуумной камере установки при давлении 6,6510 -2 Па (510 -4 мм рт.ст.) и заключается в конденсации паров алюминия на поверхность изделий, которые размещаются в контейнере, установленном в камере.
Для открывания камеры, загрузки и выгрузки можно использовать робототехнический комплекс.
Роботизированная установка вакуумная напылительная УВН-4ЭД
Установка УВН-4ЭД предназначена для нанесения металлических покрытий (титан, алюминий, нержавеющая сталь, медь) на стекла при производстве зеркал, а также для тонирования стекол.
Вакуумная металлизационная установка УВН-4ЭД - однокамерная, периодического действия.
Управление установкой дистанционное. Процесс металлизации изделий происходит в вакуумной камере установки при давлении 6,6510-2 Па (510-4 мм рт.ст.) и заключается в конденсации паров металла на поверхность изделий, которые размещаются в контейнере, устанавливаемом в камере.
Загрузка и выгрузка деталей или листового стекла осуществляется с применением робототехнического комплекса.
Роботизированная установка вакуумная напылительная УВН-4М
Эта установка предназначена для нанесения магнетронным распылением металлов на поверхность изделий различной геометрической формы, открытой для прямого попадания на нее испаряемых паров металла.
Установка может быть использована в производстве товаров народного потребления с улучшенной цветовой и декоративной отделкой поверхности, а также изделий с повышенной коррозионно- и износостойкостью.
Принцип работы установки основан на распылении материала мишени, которое осуществляется ионами рабочего газа, образующимися в плазме аномального тлеющего разряда, в скрещенных электрических и магнитных полях. Загрузка и выгрузка деталей может осуществляться с помощью робототехнического комплекса.
Роботизированная установка вакуумная напылительная УВН-4МC-5
Установка предназначена для нанесения декоративного покрытия магнетронным распылением металлов на поверхность изделий различного назначения.
Установка может быть использована в производстве товаров народного потребления, для улучшения цветовой и декоративной поверхности различных изделий, а также изделий с повышенной коррозионной и износостойкостью.
Установка изготавливается в климатическом исполнении УХЛ, категории 4 по ГОСТ 15150.
Загрузка и выгрузка деталей может осуществляться с помощью робототехнического комплекса.
- исследование и производство плоских дисплеев (Flat Panel Display);
- напыление для лазерных элементов;
- производство DWDM и CWDM фильтров;
- производство диэлектрических фильтров и зеркал.
1. Протяженный ионно-лучевой источник распыления IBSS или двойной планарный магнетрон IzoMag с автоматически меняющимися мишенями из различных материалов.
2. Протяженный ионно-лучевой источник очистки IBCS, используемый для окончательной очистки поверхности подложки от микрочастиц, адсорбированных паров газов или молекул воды и подготовки ее к напылению.
Подложка загружается в рабочую камеру через шлюзовую систему и остается неподвижной в течение всего процесса напыления. Оптический контроль осуществляется непосредственно по самой подложке. Датчик кварцевого контроля также находится в плоскости подложки.
Будучи испытанной с широким перечнем распыляемых материалов (Ti, Ta, Nb, In-Sn (5%), Al, Mg, Si, Ge, Pb, Cu, Ag и т.д) и комбинацией газов (Ar, O 2, N 2, H 2, C 2H 2, C 3F 8, C 3H 8, и т.д.), установка PlsamaScan предоставляет неограниченные возможности для разработки и исследования новых процессов и тонкопленочных покрытий, что невозможно с использованием традиционного вакуумного напылительного оборудования.
Назначение. Система IBSS (рис.1) является высокоэффективным инструментом для качественного нанесения покрытий из металлов, сплавов, окислов, нитридов методом ионно-лучевого распыления протяженных мишеней в среде аргона, кислорода, азота, фреонов или смеси этих газов и позволяет обеспечить:
- нанесение проводников, полупроводников и диэлектриков;
- температуру подложки при распылении не выше 60°С (140°F).
- возможность последовательного распыления нескольких различных материалов в одном процессе;
- большой динамический диапазон скоростей нанесения
- очень гладкую поверхность пленок;
- высокую плотность структуры пленок;
- однородный состав многокомпонентных пленок;
- возможность распыления мишеней длиной до 3360 мм;
- уровень неравномерности не хуже ±2% по поверхности распыления;
- стабильные реактивные процессы распыления;
- возможность работы с инертными (Ar, He, Ne, и т.д.) и активными газами (O 2 , N 2 , CF x , C x H y и т.д.);
Схема установки IBSS показана на рис.1.
Применение системы ионно-лучевого распыления IBSS наиболее эффективно в следующих областях:
- напыление на чувствительные к температуре подложки;
- высококачественные оптические пленки для дисплейной промышленности;
- сверхтонкие пленки (нанотехнологии).
Система распыления IzoMag является высокоэффективным инструментом для нанесения покрытий из металлов, сплавов, окислов и нитридов методом двойного магнетронного распыления на переменном токе с частотами 40…80 кГц и магнетронного распыления на постоянном токе.
Схема установки IzoMag представлена на рис. 2.
Основные достоинства и преимущества IzoMag:
- возможность распыления от одного до четырех материалов мишеней в одном цикле на постоянном токе;
- возможность чередующегося нанесения слоев с низким и высоким коэффициентом преломления;
- возможность нанесения сплавов переменного состава при одновременном независимом распылении двух металлических мишеней на постоянном токе;
- возможность распыления мишеней длиной до 1646 мм;
- уровень неравномерности не хуже ±5% по поверхности распыления;
Применение системы двойного магнетронного распыления IzoMag наиболее эффективно в следующих областях:
- высококачественные оптические пленки для дисплейной промышленности;
- напыление на большие поверхности;
Описание изделия. Система ионно-лучевой очистки IBCS предназначена для финишной очистки поверхности подложки от молекулярных частиц, адсорбированных газов, полимерных фрагментов, воды, а также для активации поверхностных связей подложки в вакуумной камере непосредственно перед нанесением покрытия. Ионно-лучевая очистка гарантирует отличную адгезию между первым нанесенным слоем и подложкой. Ионно-лучевой источник очистки может поставляться с оригинальным блоком питания IPS-С5K.
- возможность работы с инертными (Ar) и активными (O2, N2, CFx, CxHy ) газами и их смесями;
- очистка с равномерностью не хуже ±5% подложки с шириной до 3400 мм;
- давление в вакуумной камере в процессе очистки
- легкая и надежная установка в вакуумные установки поточного и периодического действия;
- возможность обработки поверхности под различными углами: 10 …90°;
- надежная адгезия без специальных подслоев;
- возможность обрабатывать различные типы подложек (металлические, полупроводники, диэлектрики, полимеры).
Применение. Система ионно-лучевой очистки (рис.3) обеспечивает эффективную атомарную очистку и подготовку поверхности подложки при использовании в следующих областях:
- нанесение покрытий на большие подложки при производстве плоскопанельных дисплеев (FPD);
- нанесение покрытий на большие подложки при производстве архитектурного стекла;
- производство кремниевых микроэлектронных чипов;
- оптическая электроника и телекоммуникации.
Рис. 3 - Схема ионно-лучевого источника очи с тки
Установка предназначена для получения тонких пленок различных материалов на стекле, полиэтилене, металле, бумаге методом вакуумного дугового и магнетронного напыления. Установка позволяет получать полупрозрачные и зеркальные пленки на листовых и рулонных материалах, изделиях большого габарита.
Имеется возможность получения многокомпонентных составов (до шести элементов плюс реактивные газы).
Установка рассчитана на эксплуатацию в условиях умеренного климата. Управление установкой производится от ЭВМ, что гарантирует высокое качество и стабильность технологии.
Устройство и принцип работы сбалансированных манипуляторов с ручным управлением. Виды робототехнических комплексов для нанесения покрытий. Составление компоновочной схемы манипулятора, работающего в прямоугольной пространственной системе координат. контрольная работа [4,2 M], добавлен 21.03.2015
Характеристика, структура, особенности и технологическое устройство роботизированных комплексов (РТК) сборки. Основные сборочные операции промышленных роботов (ПР). Размеры рабочей зоны и система управления ПР. Типовые варианты компоновок сборочных РТК. реферат [1,2 M], добавлен 04.06.2010
Сущность и классификация методов обработки поверхности. Методы сухой очистки. Процесс плазмохимического травления. Схема вакуумной камеры диодного типа для плазмохимического травления непосредственно в плазме. Очистка поверхности газовым травлением. реферат [536,7 K], добавлен 15.01.2009
Анализ существующих аналогов установок вакуумного напыления тонких пленок различными методами. Разработка конструкции поворотно-карусельного механизма установки. Оценка полученного тонкопленочного покрытия и измерение неравномерности его нанесения. дипломная работа [2,2 M], добавлен 24.11.2010
Определение однослойного, двухслойного, трехслойного и многослойного просветляющего покрытия с минимальным коэффициентом отражения для данной длины волны. Оптические толщины, материалы напыляемых покрытий. Спектральные зависимости коэффициента отражения. курсовая работа [329,1 K], добавлен 18.03.2013
Обзор приборов, измеряющих толщину диэлектрических пленок и лакокрасочных покрытий. Исследование принципа работы измерительных преобразователей толщины. Расчет выходного дифференциального каскада, определение наименования и номиналов всех элементов. практическая работа [210,4 K], добавлен 21.02.2012
Принцип действия, конструкция и технология гибких дисплейных ячеек. Изучение характеристик нанотолщинных композиционных слоистых покрытий на гибких подложках. Влияние толщины нанотолщинного композиционного слоистого покрытия на устойчивость к деформации. дипломная работа [3,7 M], добавлен 17.06.2012
Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д. PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах. Рекомендуем скачать работу .

© 2000 — 2021



Робототехнические комплексы (РТК) электрофизической обработки контрольная работа. Коммуникации, связь, цифровые приборы и радиоэлектроника.
Сочинение Описание Береза 7 Класс
Юридическая Ответственность И Государственное Принуждение Реферат
Как Написать План Магистерской Диссертации
Реферат Банк Уралсиб
Доклады На Тему Острые Токсические Невропатии
Сочинение На Тему Исторические Памятники
Рецензия На Диссертацию По Педагогике
Реферат по теме Преодоление барьеров в обучении
Реферат: Засоби саморегуляції психічного стану спортсмена
Реферат: Cause And Effect 2 Essay Research Paper
Реферат: Благотворительность как форма социально-культурной деятельности
Курсовая работа по теме Политические и правовые учения в Европе в начале XX в.
Ибсен Собрание Сочинений В 4 Томах
Реферат по теме Tрихомониаз
Реферат по теме Методология составления инвестиционного меморандума
Перспективы Развития Образования Эссе
Реферат по теме Гималаи
Реферат по теме Гигиенические требования к содержанию лошадей
Реферат: Слуга государев фильм
Курсовая Работа По Статистике 2022
Порядок оформлення результатів ревізії - Бухгалтерский учет и аудит контрольная работа
Договор имущественного страхования - Государство и право дипломная работа
Договор поставки для государственных нужд по законодательству Российской Федерации - Государство и право курсовая работа