Реферат: Ионно-сорбционная откачка
![](/file/7d5aacc146456be8f3642.jpg)
🛑 👉🏻👉🏻👉🏻 ИНФОРМАЦИЯ ДОСТУПНА ЗДЕСЬ ЖМИТЕ 👈🏻👈🏻👈🏻
При ионно-сорбционной откачке используют два способа поглощения газа : внедрение ионов в объем твердого тела под действием электрического поля и химическое взаимодействие откачиваемых газов с тонкими пленками активных металлов .
Высокоэнергетические ионы или нейтральные частицы , бомбардируя твердое тело , проникают в него на глубину , достаточную для их растворения .Этот способ удаления газа является разновидностью ионной откачки
. На рис. 1 показано равновесное распределение концентрации при ионной откачке в объеме неограниченной пластины толщиной , рассоложенной внутри вакуумной камеры .
Максимальную удельную геометрическую быстроту ионной откачки можно рассчитать по формуле (1) , где – коэффициент внедрения ионов ; = – удельная частота бомбардировки ; – плотность ионного тока ; – элементарный электрический заряд ; – молекулярная концентрация газа .
Коэффициент внедрения учитывает частичное отражение и рассеивание , возникающее при ионной бомбардировке . Коэффициент внедрения сильно зависит от температуры тела и слабо – от плотности тока и ускоряющего напряжения . Значение наблюдается для Ti , Zn при 300 … 500 К .
Максимальное значение концентрации растворенного газа при ионной откачке можно определить из условия равновесия газовых потоков : (2) ( D – коэффициент диффузии газа в твердом теле ) . Градиенты концентраций определяются следующими отношениями : здесь – глубина внедрения ионов ( – ускоряющее напряжение ) ; и – максимальная и начальная концентрация плотности поглощенного газа .
Так как величина мала по сравнению с ( константа даже для легких газов не превышает 1.0 нм./кВ ) , то величиной в уравнение (2) можно пренебречь : .
Отсюда следует выражение для максимальной концентрации растворенного газа : .
Если величина , рассчитанная по приведенной формуле превышает максимально возможную в данных условиях растворимость газа в металле , то поглощенный газ начинает объединяться в газовые пузырьки , вызывая разрыв металла . Это явление получило название блистер-эффекта
.
В нержавеющей стали водородный блистер-эффект наблюдается при поглощение м 3
*Па/см 2
, что соответствует при быстроте откачки м 3
/(с*см 2
) и давление Па приблизительно 300 часов непрерывной работы .
По известному значению можно подсчитать общее количество газа , которое будет поглощено единицей поверхности .
Во время ионной бомбардировки наблюдается распыление материала , сопровождающееся нанесением тонких пленок на электроды и корпус насоса . Сорбционная активность этих пленок используется для хемосорбционной откачки .
Распыление активного материала может осуществляться независимо от процесса откачки , например с помощью регулирования температуры нагревателя . Расход активного материала в таких насосах осуществляется независимо от потока откачиваемого газа .
Более экономно расходуется активный металл в насосах с саморегулированием распыления . В этих насосах распыление производится ионами откачиваемого газа , бомбардирующими катод , изготовленный из активного материала . Распыляемый материал осаждается на корпус и анод , где осуществляется хемосорбционная откачка .
Ионно-сорбционная откачка ....................................... 1
Рис1. Установившееся распределение концентрации в неограниченной пластине , бомбардируемой высокоэнергетическими ионами ............................ 3
Оглавление................................................................................ 4
Используемая литература :............................................ 5
Название: Ионно-сорбционная откачка
Раздел: Рефераты по физике
Тип: реферат
Добавлен 22:12:55 09 октября 2005 Похожие работы
Просмотров: 65
Комментариев: 18
Оценило: 3 человек
Средний балл: 5
Оценка: неизвестно Скачать
Срочная помощь учащимся в написании различных работ. Бесплатные корректировки! Круглосуточная поддержка! Узнай стоимость твоей работы на сайте 64362.ru
Если Вам нужна помощь с учебными работами, ну или будет нужна в будущем (курсовая, дипломная, отчет по практике, контрольная, РГР, решение задач, онлайн-помощь на экзамене или "любая другая" учебная работа...) - обращайтесь: https://clck.ru/P8YFs - (просто скопируйте этот адрес и вставьте в браузер) Сделаем все качественно и в самые короткие сроки + бесплатные доработки до самой сдачи/защиты! Предоставим все необходимые гарантии.
Привет студентам) если возникают трудности с любой работой (от реферата и контрольных до диплома), можете обратиться на FAST-REFERAT.RU , я там обычно заказываю, все качественно и в срок) в любом случае попробуйте, за спрос денег не берут)
Да, но только в случае крайней необходимости.
Реферат: Ионно-сорбционная откачка
Я Осенний Листок Сочинение 3 Класс
Доклад: Пpичины отказа в pегистpации акций АО
Эссе Правление Брежнева
Клише Эссе Обществознание Егэ 2022
Реферат: Транспортные расходы и расходы на рекламу: учет у предприятий торговли
Реферат по теме Евгений Светланов
Курсовая работа по теме Разработка технологии бестраншейной прокладки трубопроводов
Выдающиеся Ученые Лингвисты Реферат
Реферат: Проблемы экологии
Контрольные Работы По Математике Истомина
Реферат: Защита прав детей и их развитие
Сочинение Образ Пушкина
Досрочный Вариант По Русскому Сочинение 2022
Эсса Пиво Какие Вкусы
Эссе Квинтет Официальный Сайт
Любить Эссе
Методическое указание по теме Історія сучасного світу
Контрольная Работа На Тему Оказание Государственной Поддержки Неплатежеспособным Предприятиям
Магистерская Диссертация По Семейному Праву
Курсовая работа: Проект по запуску производства прибора "Светлон"
Реферат: Попередельный метод учета затрат и калькулирования
Изложение: Кармен. де Мериме Просперо
Реферат: Глобальные гипертекстовые структуры: WWW