Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом — Геннадий Кузнецов, 2005г. Скачать книгу / читать онлайн

Внимание! Здесь вы можете ознакомиться с книгой Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом 2005 года от Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом

Скачать книгу »
Читать онлайн »

Описание книги:
В данном пособии приводятся расчеты взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Обсуждаются закономерности упругих и неупругих потерь энергии ионом при взаимодействии с атомами и электронами твердо› го тела материалов электронной техники. Рассматриваются типовые источ› ники ионов, применяемые в технологии электронной техники. Анализируют› ся области проявления таких эффектов взаимодействия, как распыление, дефектообразование и внедрение ионов.

Скачать книгу »
Читать онлайн »