Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники — Светлана Козубняк, 2013г. Скачать книгу / читать онлайн

Внимание! Здесь вы можете ознакомиться с книгой Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники 2013 года от Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Скачать книгу »
Читать онлайн »

Описание книги:
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».

Скачать книгу »
Читать онлайн »