Микроэлектромеханика — Д. И. Остертак, 2016г. Скачать книгу / читать онлайн

Внимание! Здесь вы можете ознакомиться с книгой Микроэлектромеханика 2016 года от Микроэлектромеханика

Скачать книгу »
Читать онлайн »

Описание книги:
Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотрены некоторые примеры и даны задачи для самостоятельного решения. Предназначено для студентов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микросистемной техники и МЭМС, а также может быть рекомендовано студентам других специальностей, научным работникам и инженерам, желающим самостоятельно изучать физические принципы работы МЭМС или расширить и систематизировать свои знания в этой области.

Скачать книгу »
Читать онлайн »