Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение — Дмитрий Духопельников, 2014г. Скачать книгу / читать онлайн

Внимание! Здесь вы можете ознакомиться с книгой Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение 2014 года от Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение

Скачать книгу »
Читать онлайн »

Описание книги:
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.

Скачать книгу »
Читать онлайн »