МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники
👓 Акчурин Р.Х.
Производитель:
💡 ТехносфераСерия:
📚 Мир 🕊️ материалов и технологийМОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники
✅ В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста 📈 эпитаксиальных слоев in situ, затронуты вопросы ⁉️ моделирования процессов.Практические аспекты реализации метода подробно рассмотрены на примере формирования эпитаксиальных структур полупроводников AIIIBV, AIIBVI и твердых растворов на их основе основных материалов современной оптоэ- лектроники и ИК-техники. Значительное внимание уделено формированию наноразмерных эпитаксиальных структур и гетероструктур на основе нитридов элементов III группы, технология которых получила стремительное развитие в последние годы 👴. Рассмотрены вопросы ⁉️ адаптации метода МОСГЭ к получению ряда новых материалов электронной техники. Книга 📖 предназначена специалистам в области технологии полупроводниковых материалов, может быть полезна аспирантам и студентам 👨🎓️ соответствующих специальностей.
Также:
Транспорт 🚗 и логистика в Арктике. Альманах, 1️⃣, 2️⃣0️⃣1️⃣5️⃣
