МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники — Р. Х. Акчурин, 2018г. Скачать книгу / читать онлайн

Внимание! Здесь вы можете ознакомиться с книгой МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники 2018 года от МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники

Скачать книгу »
Читать онлайн »

Описание книги:
В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) – одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев in situ , затронуты вопросы моделирования процессов. Практические аспекты реализации метода подробно рассмотрены на примере формирования эпитаксиальных структур полупроводников AIIIBV, AIIBVI и твердых растворов на их основе – основных материалов современной оптоэлектроники и ИК-техники. Значительное внимание уделено формированию наноразмерных эпитаксиальных структур и гетероструктур на основе нитридов элементов III группы, технология которых получила стремительное развитие в последние годы. Рассмотрены вопросы адаптации метода МОСГЭ к получению ряда новых материалов электронной техники. Книга предназначена специалистам в области технологии полупроводниковых материалов, может быть полезна аспирантам и студентам соответствующих специальностей.

Скачать книгу »
Читать онлайн »