Ионно-плазменная обработка материалов — Аскер Кушхов, 2008г. Скачать книгу / читать онлайн

Внимание! Здесь вы можете ознакомиться с книгой Ионно-плазменная обработка материалов 2008 года от Ионно-плазменная обработка материалов

Скачать книгу »
Читать онлайн »

Описание книги:
В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травления наноразмерных слоистых материалов при различных способах вакуум-плазменных процессов. Обсуждаются проблемы получения химически чистой поверхности подложек, а также возможные случаи повреждения и изменения шероховатости приповерхностного слоя. Анализируются возможности ионного синтеза и кристаллизации пленок при различных условиях ионного воздействия на поверхность обрабатываемого материала. Приводятся примеры использования ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники.

Скачать книгу »
Читать онлайн »