Ионная и фотонная обработка материалов — Станислав Константинов, г. Скачать книгу / читать онлайн
Внимание! Здесь вы можете ознакомиться с книгой Ионная и фотонная обработка материалов года от Ионная и фотонная обработка материалов
Скачать книгу »
Читать онлайн »
Описание книги:
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
Скачать книгу »
Читать онлайн »