Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов — Ю. А. Родионов, 2023г. Скачать книгу / читать онлайн
Внимание! Здесь вы можете ознакомиться с книгой Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов 2023 года от Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов
Скачать книгу »
Читать онлайн »
Описание книги:
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Скачать книгу »
Читать онлайн »