Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы — Аскер Кушхов, 2012г. Скачать книгу / читать онлайн
Внимание! Здесь вы можете ознакомиться с книгой Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы 2012 года от Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы
Скачать книгу »
Читать онлайн »
Описание книги:
В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении.
Скачать книгу »
Читать онлайн »