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17、保证所有接触输送体的部件不会被输送的流体腐蚀损坏。
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干式刻蚀机是将承载有晶圆的托盘放置在腔体内的静电卡盘上，托盘表面反应区温度对稳定工艺至关重要，其直接影响蚀刻速率和选择比，同时蚀刻工艺过程中晶圆托盘在升降装置的驱动下存在位置度偏差，测温装置有效的与托盘接触来获得准确的工艺温度对稳定工艺也至关重要。
比如进口的有德国NORRES软管、意大利IPL品牌的软管等，国内的可以选择鑫翔宇XY03系统的软管。
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金属带锯床使用时锯架不上升时间:2022-06-11作者:admin点击:(2184)次当在使用时无法上升怎么办，如何解决此类问题，从以下几个注意点去排查：1、先检查下止点接触开关是否良好；2、金属带锯床液压油箱是否缺油（液压泵进入空气后会引起油泵损坏或是达不到工作液压）；3、检查金属带锯床液压油泵是否良好（长时间使用过的金属带锯床液压泵磨损后可能会达不到工作所需液压）；4、检查、调整金属带锯床溢流阀使工作液压恢复正常5、检查电磁阀和液压管路是否漏油；6、检查金属带锯床升降液压油缸是否损坏（很少损坏）；
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