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其中，Appliedmaterial、Novellus的CMP设备主要应用在IC制造铜互连工艺领域。

能够吸收轴向位移（X）、任意向的横向位移（Y）、轴向补偿量（Xo）、横向补偿量（Ymm）能满足机组要求，选用时应满足下列计算式：锅炉燃烧器与煤粉管道接口处的垂直位移200毫米以上，水平位移、40毫米以上，膨胀节要尽可能近燃烧器安装，并设置固定支架，隔离支架5以外管线的变形，使该补偿器主要吸收锅炉的位移，见下述安装方式： 1）靠近燃烧器入口处水平安装：锅炉的垂直位移，锅炉及煤粉管道的任意方向位移，补偿器主要通过横向挠曲以及少量轴向位移伸与压缩来吸收。

齿形误差是由多种要素构成的，察看缺陷铣床传动零碎中的齿轮，发现齿形误差次要是在加工进程中呈现的，其次是因暂时运转条件不好所致。

浴槽采用不锈钢板经由氩弧焊焊接而成，防腐耐用，内置磁力循环泵，外接软管进行外循环。

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控制面板采用直观可视式结构，每区温控系统都设相应的报警装置，具体有各区超温报警装置；每区还设置了独立的空气开关，方便操作维修。

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