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由于音叉物位开关无活动部件,因此无须维护和调整,是浮球液位开关的升级换代产品。
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其规格型号范围从5-40#。
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干式刻蚀机是将承载有晶圆的托盘放置在腔体内的静电卡盘上，托盘表面反应区温度对稳定工艺至关重要，其直接影响蚀刻速率和选择比，同时蚀刻工艺过程中晶圆托盘在升降装置的驱动下存在位置度偏差，测温装置有效的与托盘接触来获得准确的工艺温度对稳定工艺也至关重要。
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注：-1为一组弹簧组合、-2为二组弹簧组合、-4为四组弹簧组合、-6为六组弹簧组合、-9为九组弹簧组合。
单级反渗透设备的预处理系统通常由聚丙烯纤维过滤器和活性炭过滤器组成。
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