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3、在被溅射的靶(阴)与阳之间加个正交磁场和电场，在高真空室中充入所需要的惰性气体(一般为Ar气)，在电场的效果下，Ar气电离成正离子和电子，靶上加有定的负高压，从靶宣布的电子受磁场的效果与工作气体的电离几率增大，在阴附近构成高密度的等离子体，Ar离子在洛仑兹力的效果下加快飞向靶面，以很高的速度炮击靶面，使靶上被溅射出来的原子遵从动量转化原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。
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设计标准符合EN593和API609。
安装时可根据不同需要把出口管安装成垂直方向或水平方向。
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5、采用PLC控制操作洗瓶工艺，超声波清洗时间可自由设定。
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