美日荷博弈对华出口管制

3月8日，荷兰外贸和发展合作部部长Liesje Schreinemacher给荷兰众议院主席写信，称有必要扩大对特定半导体生产设备的现有出口管制，目标是在2023年夏季之前公布半导体先进生产设备出口的部级法规。对已受到美国芯片和制造设备严格管制的中国半导体产业来说，荷兰的动作无疑雪上加霜。若要生产先进芯片，必须使用光刻机，而荷兰的阿斯麦（ASML）是世界上惟一一家能生产最先进的极紫外线光刻机（EUV）的公司。2018年，美国政府成功游说荷兰政府禁止阿斯麦对华出口EUV。此后，中国产业界寄望于比EUV稍落后的深紫外光刻机（DUV）。但此次荷兰升级出口管制，连部分高端DUV也将纳入管制名单。

3月9日，中国外交部发言人毛宁表示，中方对荷方以行政手段干预限制中荷企业正常经贸往来的行为表示不满，已向荷方提出交涉，并坚决反对将经贸科技问题政治化、武器化。

全球范围内，只有两家公司能提供DUV，一家是阿斯麦，另一家则是日本尼康。除给荷兰施压，美国亦希望联合日本实现对中国半导体行业的进一步封锁。2023年1月，美国总统拜登分别会见日本、荷兰首相，建议联手加强对先进科技的出口管制，白宫官员还组织三方会议谈判管制细节。

谈判很快推进。阿斯麦于1月29日向财新证实，美、日、荷政府就达成一项侧重先进制程芯片制造技术的协议有最新进展，其中将包括但不限于先进制程的光刻系统。到3月8日，荷兰政府公开确认上述出口管制计划。

荷兰最终跟从美国的做法，基本在中国市场的预期内；但日本目前尚未“官宣”出口管制措施。日本半导体市场“山雨欲来风满楼”，传言日本不仅将限制出口光刻机设备，还将限制对华售卖先进芯片制造中的关键耗材——光刻胶。这使得中国投资者争相寻找国内替代企业，A股光刻胶概念股一时大火。然而，光刻胶国产道阻且长。据中泰证券，中国光刻胶国产化率仅10%，且集中在较落后产线，用于65纳米以下的更先进芯片生产的光刻胶基本没有量产。

据财新了解，日本在对华出口管制上较犹豫。一方面，中日经贸往来密切，日本对华经济依存度深。若日本对华出口管制，中国可能会有力回击。日本产业界也在密切关注中国的反外国制裁法和出口管制，在近期北京召开的“2023年出口管制合规论坛”上，出现了不少日本企业和机构的身影。另一方面，日本企业受美国牵制较小。日本东京一名中日经贸研究人士对财新分析称，不像荷兰光刻机，日本的原材料和设备中的美国技术含量较低，受美国长臂管辖的威胁更小，因此美国与日本谈判出口管制时的砝码也更小。

荷兰态度骤变

　　市场对荷兰最终向美国妥协并不意外。2018年，阿斯麦最先进的EUV收到了来自中国的第一个订单，美国就此开始对荷兰政府游说，最终阻止了阿斯麦向中芯国际出货。

据路透社报道，美国官员当时花了几个月时间研究如何阻止阿斯麦向中国出售EUV，并与荷兰官员举行了至少四轮会谈。报道还援引一名前美国政府官员称，2018年7月荷兰首相马克·吕特（Mark Rutte）在访美期间收到了一份中国获得阿斯麦技术潜在后果的情报报告，此后荷兰政府决定不再续签阿斯麦对该客户的EUV出口许可，该设备也从未发货。

EUV是目前全球最先进的光刻机。以光源波长划分，光刻机分为UV（紫外线）、DUV（深紫外线）、EUV（极紫外线），波长越短分辨率越高，量产条件下，7纳米及以下的先进芯片制程工艺只能通过EUV实现。

2018年，中国的晶圆代工还处在向14纳米制程量产突破的关键期，荷兰禁售EUV后，中国产业界寄望于部分较先进的DUV产品——即浸润式光刻机（ArFi）——通过工艺研发实现14纳米甚至更先进的制程。目前，在DUV产品上，阿斯麦也处于垄断地位。2021年ArFi产品出货量为81台，而尼康在截至2021年3月31日的财年内，ArFi产品出货量仅3台。

2022年10月7日，美国出台半导体出口管制新规，对半导体行业美国籍人员在中国的工作作出限制，阿斯麦也不得不要求美国员工停止为中国晶圆厂服务。

同期，美国新一轮游说开启，但一开始效果不彰。Liesje Schreinemacher曾表态称：“商业利益和国家安全一样重要，如果和美国谈判的结果是放弃DUV，那状况会更糟。”她当时还表示“中国是一个重要的贸易伙伴”。而阿斯麦首席执行官温彼得（Peter Wennink）接受荷兰当地报纸NRC Handelsblad采访时也颇多怨言，称阿斯麦已经作出了牺牲，在美国压力下限制了EUV出口。

然而，2023年1月17日，荷兰首相马克·吕特访美成了本轮管制的转折点。

根据白宫公布的纪要，拜登在会谈前声称双方将共同建设“自由、开放的印太地区”以应对中国的挑战。吕特在会前并没有与之呼应的表态，这让市场一度认为美、荷对中国半导体出口限制问题将不会取得进展。

1月25日，温彼得接受彭博社采访时仍然不愿加入管制同盟。他指出，美国主导的出口管制将最终导致中国发展起自己的半导体设备。“如果得不到这些设备，他们就会自主研发，这可能需要时间，但他们最后一定能做到。增加压力只会迫使他们加大投入。”温彼得还警告，出口管制将会阻挠效率和创新，“将会影响我们每一个人”。

中国大陆是阿斯麦第三大市场，2022年为阿斯麦贡献了29.16亿欧元的收入，占总营收的13.8%。中国台湾、韩国、美国、日本2022年贡献的营收占比分别为38.2%、28.6%、9.4%、4.8%。

然而四天后，阿斯麦不得不接受政治谈判的结果。阿斯麦在1月29日发给财新的声明中称，在协议正式生效前，还需进一步细化相关具体内容并付诸立法，仍需一定时间；预计这些措施不会对公司2023年的业绩预期产生实质性影响。

在“瓦森纳协定”或美国国内出口管制条例等框架下，荷兰的光刻机出口并不受管辖，但由于光刻机零部件来自全球各地，美国可利用供应链给阿斯麦施压。根据阿斯麦官网，其光刻机产品供应链包括全球各地的5000家供应商，其中荷兰供应商有1500家，北美、亚洲供应商各有1400家，欧洲其他地区的供应商有700家。以采购金额来看，2022年阿斯麦采购自北美地区的光刻机组件金额占到了总采购金额的13%，光源、光栅等光学元件严重依赖美系供应商。

事实上，阿斯麦能在2009年击败此前独霸天下的尼康、佳能，靠的就是美国协助研发的EUV技术。上世纪90年代，英特尔为了促进光刻技术发展，联合政府成立了EUV技术联盟，美国三大国家实验室——劳伦斯利弗莫尔国家实验室、桑迪亚国家实验室和劳伦斯伯克利实验室——均是该联盟成员。起初英特尔邀请了包括尼康、阿斯麦等光刻机公司加入，但因美国政府不希望外国公司分享最前沿的技术，尼康未能进入该联盟。但阿斯麦在美国展开了强力游说，最终同意由阿斯麦出资在美国建工厂和研发中心，并承诺55%的原材料都从美国进口，最终才得以进入联盟。

在EUV技术联盟研究成果的加持下，阿斯麦在2010年研制出EUV工程样机，并随后产品化迅速占领市场；尼康则因错过EUV而被甩在后面。2000年，尼康光刻机市占率超过七成，2009年就被阿斯麦超越。

由于光刻机研发成本巨大，阿斯麦在财务上允许大客户对其进行少数股权投资，2012年，英特尔、台积电、三星三家，总投资38.5亿欧元获得了阿斯麦23%的股份，并提供13.8亿欧元用于EUV研发并享受优先供货权，成功构筑了利益共同体。

Liesje Schreinemacher称：“额外的管制措施将是尽可能精准（外科手术式），以防止价值链造成不必要的破坏。”尽管她未在信中提到中国，但目前阿斯麦的客户中只有中国被出口管制所针对，“额外”一词显然意有所指。阿斯麦也在3月8日称，未来将需要为DUV中最先进的浸润式光刻机申请出口许可，尽管尚未获得荷兰政府关于“最先进”的定义，但阿斯麦预计，限制令会包括2020年推出的TWINSCAN NXT：2000i及之后的型号，即阿斯麦内部定义的“关键浸润式DUV”（Critical Immersion）。

这也意味着，若出口管制最终如阿斯麦所料，中国晶圆厂未来只能获得NXT：1980Di及后续产品，那中国芯片制程探索将停在7纳米制程之上。“过去美国不觉得DUV与中国有关，现在是只要发现你能拿这个设备做出来接近先进制程的产品，他都要给你卡住。”一名半导体行业人士说。

他还指出，光刻机的型号不同，在生产中并不完全是“0”和“1”的区别。他认为，中国在谈论芯片制程时，往往过于强调光刻机的重要性，但一条先进制程产线的诞生有赖于半导体设备、材料、工艺等全套流程，中国晶圆厂在其他环节同样存在较大差距。

不过目前荷兰政府尚未公布半导体出口管制的具体措施，包括哪些光刻机型号、阿斯麦能否为已售出的光刻机继续提供服务等细节仍未知。“光刻机十分依赖原厂支持，一年维护费用要占到机器采购价格的十分之一，能否有原厂服务和买不买得到一样重要。”上述行业人士说。

日本尚无定论

　　荷兰在美国压力下就范，日本方面目前尚未明确态度，但中国市场对其最终作何决定并不乐观。

2020年1月，日本经济产业省公布出口管制清单，光刻胶的大类抗蚀剂已被列入。“从权限来看，日本政府是有能力限制光刻胶出口的。”日中经济协会常务理事高见泽学告诉财新，但基于中国市场的潜力，日本企业出于经济利益考虑不可能立刻离开中国。

日本企业再度被置于地缘政治的夹缝中，“平衡”成为日本政企两端的共同目标。“政府决定管制出口，企业自然只能遵从。不过从过往历史来看，企业是可能要求政府在政策调整上留有余地的。”高见泽学称。

中国之前，日本已经对韩国半导体实施出口管制。2018年10月，韩国最高法院发布判决，裁定日本对“二战”时强制劳动的劳工及其亲属进行赔偿，日韩关系因此一时紧张。作为反击，日本在2019年7月发布限制令，限制氟化氢、聚酰亚胺氟化物、EUV抗蚀剂三种材料的对韩出口。2019年9月，韩国就日本半导体限制令向世界贸易组织（WTO）提起诉讼。近期日韩半导体贸易出现转机。3月6日，日本宣布“两国政府正加快协商，洽谈取消出口管制一事，以将日韩光刻胶出口恢复到2019年7月之前的情况”。韩国产业通商资源部长官李昌洋也表示：“两国的会谈非常密切，出口限制问题也在解决当中。一旦韩日产业合作得以继续，有望构建更稳固的供应链体系，减少企业的不确定性。”

高见泽学认为，即使在取消出口管制前，日本半导体也并非对韩国关上大门。政府限制了对韩光刻胶出口，却又在同年12月宣布简化光刻胶的对韩出口手续。“放宽出口的具体原因尚不清楚，但不难想见是因为日本半导体行业对限制出口的反对声音强烈。鉴于中国是日本最大的半导体设备出口市场，限制对华出口将产生（比限制出口韩国）更大的影响。”

据日本半导体制造设备协会（SEAJ）统计，2021年度，日本半导体制造设备的销售额为3.443万亿日元（约299亿美元），其中对中国出口同比增加57%，达到9924亿日元，约占整体的三成，在各贸易国中也居首位。日本贸易振兴机构研究人员给出的出口占比甚至更高。该机构亚洲经济研究所主任研究员丁可向财新指出，按海关HS8486编号划定的半导体设备计算，以出口额计，中国市场在2021年占到日本整体出口市场的40%，而美国只占15%。

在半导体生态中，日本企业在全球也掌握诸多生产环节的绝对话语权。丁可称，比如在光刻胶涂布设备、热处理设备、单晶圆清洗设备和批量清洗设备领域，日本企业的全球市占率超过了70%。

据中泰证券，光刻胶目前国产化率仅10%，中国量产的光刻胶仅能满足150纳米的芯片制造，属于较落后制程；用于65纳米以下的ArF光刻胶大多处于研发或送样阶段；用于3—7纳米先进芯片的EUV光刻胶尚处于早期研发阶段；甚至光刻胶的原料——树脂也几乎由海外垄断，这一领域的大厂信越化学、东洋合成、住友电木和三菱化学来自日本，杜邦来自美国。

市场担心日本一旦限制对华出口半导体，其力度将对齐美国。日本贸易振兴机构电子信息产业部部长吉池直樹向财新指出，2022年10月，美国政府对华先进半导体产业发起全面出口管制，此后一些美国技术人员撤离中国企业。“日本政府迄今尚未正式公布在该领域对华出口管制的具体措施。但此次的出口管制有别于之前日本对韩国的出口管制，面临的国际形势更为复杂，日本政府会否采取更严苛的措施，我们也非常关注。”

目前，要影响日本政府的对华出口管制政策，尚有多重斡旋空间。前述中日经贸研究人士表示，相比荷兰企业，日本企业在光刻胶等原材料领域自主研发的独立性更高，更少用到美国技术，受美国长臂管辖的可能性更低。此外，日本企业也可能改变生产策略，在中国设厂以避开出口限制。他举例称，2019年日本对韩国半导体出口管制时，日本企业随机应变，比如住友化学就在韩国建厂生产ArF光刻胶；东京应化扩大了在韩国仁川的工厂，光刻胶产能翻番；韩国半导体企业SK Hynix的日本供应商大金工业与韩国设备供应商成立合资企业，在韩国投资40亿日元建立工厂。

通过子公司扩大产能来弥补出口渠道不畅，是日本半导体企业普遍选择的可行办法。从光刻机市场来看，中国已成为佳能和尼康光刻机的最大买家。高见泽学认为，从企业侧来看，应该对政府出台管制措施有应对举措。比如佳能、尼康可以通过中国子公司扩大供给的方式，来将政府管制的影响降到最低。

既然日本企业可以来中国寻求发展机会，那么，中国企业也可以到日本去寻找商机。日本贸易振兴机构北京代表处投资总监金京浩向财新指出，在“脱钩”风险越来越大的情况下，已有一些中国企业主动登陆日本，借助日本的全球供应链优势和各类经贸协定基础，拓展投资合作的可能性。

前述中日经贸研究人士称，在对华出口管制的态度上，目前日本政府内部也有分化。出口管制主要由日本外务省和经济产业省主导，负责日本经济政策的经济产业省可能更加支持出口管制，因其正在支持本土的先进半导体生产，例如引入台积电在熊本建设生产基地；而负责外交事务的外务省，可能偏向于不要把出口管制做得太严，以损伤中日关系。

美国的博弈筹码

美国“拉帮结派”围堵中国的策略已有时日，在特朗普担任总统时期，白宫试图封禁TikTok和微信时，华盛顿政策圈彼时就有“小院子、高栅栏”（Small yard，High fence）联盟限制中国先进科技的说法。

拜登上任后，“小院子、高栅栏”策略进一步融入白宫和国会的政策制定中。2022年6月，美国国会推出的“两党创新法案”进入最终讨论阶段，法案讨论建立“多边出口管制协调委员会”（CoCom），专门协调美国和欧盟的政策，限制对中国的敏感技术出口。不过，由于美国国会两党对法案中环保相关等内容意见不一，最终“两党创新法案”未能通过。

“两党创新法案”失败，作为替代，“2022年芯片和科技法案”很快在两个月后落地，该法案推出总值2800亿美元的产业补贴，其中527亿美元用于鼓励芯片生产和研发。法案暗藏了对华半导体投资的排斥条约，特别提及中国，要求受补贴实体如与中国等“受关注的国外实体”有实质性半导体产能扩大的重要交易计划（成熟制程除外），须向美国商务部通报，美国商务部有权收回补贴。

上述机制实质上要求芯片企业在中美间“二选一”。美国资产管理公司联博集团研报指出，受补贴的企业可能被视为站在美国一边、在政治上对立中国。企业将必须权衡补贴带来的好处与中国市场的商业价值。

2022年10月，美国政府发布139页的出口管制新规，实施长臂管辖，即“外国直接产品规则”（FDP），使用了美国《出口管理条例》（EAR）管控的软件和技术直接生产的产品，即使不在美国生产，也需要获得美国的许可。“外国直接产品规则”对荷兰阿斯麦等使用美国技术进行生产的公司产生直接威胁——如果要出口相关先进半导体设备到中国，美国就会切断对阿斯麦的技术供应。

推进本土出口管制的同时，拜登政府将视线转向海外。2022年中，韩国当地媒体陆续传出消息，美国试图拉拢韩国、日本和中国台湾，组成名为“Chip 4”的联盟，形成“供应链闭环”，将中国大陆排除在外。美国精于设备和设计，日本以设备和材料见长，韩国在存储和制造领域强势，中国台湾更是在制造领域无可替代。一旦“Chip 4”成形，中国大陆半导体产业将从材料、设备到设计、制造、封测全面受限，几乎只能依靠自身力量从头再来。

2022年10月，美国商务部（BIS）与韩国贸易、工业和能源部（MOTIE）成立美韩双重用途出口管制工作小组。美国商务部称，工作小组名为“美韩供应链和商业对话双重用途出口管制小组”，小组任务是确定双方将考虑采取的具体行动，促进出口管制合作。

让日企放弃中国市场，美国的谈判砝码并不大。前述中日经贸研究人士指出，美国政府不大可能为了补偿日企损失，而让美企扩大对日订单。不过美国在扩大本土制造，美资半导体厂商订单增多，可能一定程度上扩大对日采购。但一旦真的实施管制，日本不仅将丢掉中国买家，还将失去外资半导体企业和很多日本在中国的企业客户。

美国对日本大打合作牌，通过先进半导体研发合作，以加深供应链依赖度。日本经济产业省2022年11月公告，日本在2022年内，学习美国的国家半导体科技中心（NSTC），建立日本的最尖端半导体技术中心（LSTC：Leading-edge Semiconductor Technology Center），进行芯片的尖端设计、尖端设备和材料的技术研发。

日本将建立一家名为Rapidus的公司，与LSTC合作，作为将来的量产基地。LSTC与Rapidus将和NSTC、美国信息技术公司IBM、比利时微电子研究中心（IMEC）在内的“志同道合”国家和地区的企业和机构合作。

目前，在美国挑起的技术“脱钩”和选边站队中，一些在华日企开始调整架构以应对风险。多名了解在华日企的人士称，一些大型日企已将业务和团队分为面向中国和非面向中国两种。有的日本厂商将工厂和产线从中国转回日本或转到东南亚。

吉池直樹认为，部分日本企业在公司内部区分中国业务和非中国业务的做法早已有之，特别是在华业务销售额占比较高的日本企业，早早就在中国设立单独的研发团队，研发针对中国市场的产品，这符合本地化的需求。不过，全球化大背景下，陆续发生新冠疫情导致的断供、俄乌冲突、疫情封控等系列事件，也加深了各国对本国供应链安全的担忧，各国确实都在思考如何减少对单一国家的过度依赖，力求强化本国供应链的韧性。

吉池直樹表示，平衡“国家安全”和“经济利益”的关系，是任何国家和企业都需要思考的问题。他强调，中日经济完全脱钩，既没有必要也不可能。面对中国企业全方位的追赶，相比考虑如何应对“脱钩”，日本企业应该下更多功夫关注自身的技术发展。